| 发明名称 |
Verfahren zum oxydierenden chemischen Behandeln von Halbleiteroberflaechen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1115838(B) |
申请公布日期 |
1961.10.26 |
| 申请号 |
DE1953S034714 |
申请日期 |
1953.08.07 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ROSENBERGER DIPL.-CHEM. GEORG |
| 分类号 |
H01J37/15;H01L21/00;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/32;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
H01J37/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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