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发明名称 IMMERSIELITHOGRAFIE GEBRUIKMAKEND VAN EEN SPECIFIEKE CONTACTHOEK.
摘要
申请公布号 NL2005891(C) 申请公布日期 2011.07.19
申请号 NL20102005891 申请日期 2010.12.22
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 HO, BANG-CHEIN;SHIH, JEN-CHIEH
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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