| 发明名称 |
LAVACOAT PRE-CLEAN AND PRE-HEAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110082542(A) |
申请公布日期 |
2011.07.19 |
| 申请号 |
KR20117010209 |
申请日期 |
2009.09.30 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WEST BRIAN T.;BOYD JR. WENDELL;TAN SAMANTHA |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/203;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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