发明名称 Menetelmä ja laite nanopartikkelijärjestelmien toiminnallistamiseksi
摘要
申请公布号 FI122014(B) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 FI20070005428 申请日期 2007.06.08
申请人 TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT 发明人 ALLEN, MARK;MATTILA, TOMI;ALASTALO, ARI;SEPPAE, HEIKKI
分类号 H05K3/10;B82B3/00;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H05K3/10
代理机构 代理人
主权项
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