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发明名称
Menetelmä ja laite nanopartikkelijärjestelmien toiminnallistamiseksi
摘要
申请公布号
FI122014(B)
申请公布日期
2011.07.15
申请号
FI20070005428
申请日期
2007.06.08
申请人
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT
发明人
ALLEN, MARK;MATTILA, TOMI;ALASTALO, ARI;SEPPAE, HEIKKI
分类号
H05K3/10;B82B3/00;H01L21/768;H01L23/52
主分类号
H05K3/10
代理机构
代理人
主权项
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