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发明名称 VAKUUMTRANSPORTVORRICHTUNG MIT BEWEGLICHER FÜHRUNGSSCHIENE
摘要
申请公布号 AT514802(T) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 AT20060111908T 申请日期 2006.03.29
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 HEIMEL, OLIVER;JISCHKE, ANDREAS;HAAS, DIETER
分类号 C23C16/458 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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