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发明名称 LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG FÜR DEN EXTREM UV STRAHLUNGSBEREICH MIT EINEM SORPTIONSELEMENT FÜR FLÜCHTIGE ORGANISCHE VERBINDUNGEN UND UMFASSEND EIN GETTERMATERIAL
摘要
申请公布号 AT514973(T) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 AT20090711636T 申请日期 2009.02.10
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 MANINI, PAOLO;CONTE, ANDREA
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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