| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR BILDUNG VON VORRICHTUNGSSTRUKTUREN MIT EINER SELBSTAUSGERICHTETEN SCHADENSSCHICHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT514189(T) |
申请公布日期 |
2011.07.15 |
| 申请号 |
AT20080167167T |
申请日期 |
2008.10.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
CANNON, ETHAN;CHEN, FEN |
| 分类号 |
H01L29/06;H01L21/265;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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