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发明名称 VERFAHREN UND GERÄT ZUR OBERFLÄCHENREINIGUNG VON EINER OPTISCHEN VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT514123(T) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 AT20040744607T 申请日期 2004.07.19
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 APETZ, ROLF THEO ANTON
分类号 G03F7/20;G02B27/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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