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发明名称 LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG MIT ROTATIONSFILTERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT513251(T) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 AT20080830502T 申请日期 2008.09.12
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BUIS, EDWIN JOHAN;VAN EMPEL, TJARKO ADRIAAN RUDOLF
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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