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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR SEITENWAND- ABSTANDSSTÜCKE (SPACERS) IN CMOS BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 AT515062(T) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 AT20010931262T 申请日期 2001.05.03
申请人 DALSA SEMICONDUCTOR INC. 发明人 ROY, MARC;DAIGLE, MANON;LESSARD, BRUNO;COUTURE, GINETTE
分类号 H01L21/8238;H01L21/311;H01L21/318;H01L21/336 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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