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发明名称 VERFAHREN ZUR PLASMADAMPFABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号 AT516383(T) 申请公布日期 2011.07.15
申请号 AT20100275006T 申请日期 2010.01.25
申请人 SPP PROCESS TECHNOLOGY SYSTEMS UK LIMITED 发明人 CARRUTHERS, MARK;BURGESS, STEPHEN;WILBY, ANTHONY;RASTOGI, AMIT;RICH, PAUL;RIMMER, NICHOLAS
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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