Verfahren zur Bildung von Zinkoxidfilm (ZnO) oder Magnesiumzinkoxidfilm (ZnMgO) und Anlage zur Bildung von Zinkoxidfilm oder Magnesiumzinkoxidfilm

摘要

Verfahren zur Bildung eines Zinkoxidfilmes oder eines Magnesiumzinkoxidfilmes, umfassend folgende Schritte: (A) Umwandeln einer Lösung (4, 8), umfassend Zink oder Zink und Magnesium, in Nebel, (B) Erwärmen eines Substrates (2); und (C) Zufuhr der im Schritt (A) in Nebel umgewandelten Lösung und Ozon zu einer ersten Hauptoberfläche des Substrates im Schritt (B).