发明名称 |
COMPONENT HAVING A MICROMECHANICAL MICROPHONE STRUCTURE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
摘要 |
<p>Es werden Maßnahmen zur Verbesserung der akustischen Eigenschaften eines in Opferschichttechnologie gefertigten Mikrofonbauelements vorgeschlagen. Die mikromechanische Mikrofonstruktur eines solchen Bauelements (10) ist in einem Schichtaufbau realisiert und umfasst mindestens eine durch den Schalldruck auslenkbare Membran, die in einer Membranschicht realisiert ist, sowie ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (12) für die Membran, das in einer dicken Funktionsschicht über der Membranschicht realisiert ist und mit Durchgangsöffnungen (13) zur Schalleinleitung versehen ist. Erfindungsgemäß sind die Durchgangsöffnungen (13) zur Schalleinleitung über dem Mittelbereich der Membran angeordnet, während über dem Randbereich der Membran akustisch weitestgehend passive Perforationsöffnungen (14) im Gegenelement (12) ausgebildet sind.</p> |
申请公布号 |
WO2011082861(A1) |
申请公布日期 |
2011.07.14 |
申请号 |
WO2010EP66854 |
申请日期 |
2010.11.05 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH;ZOELLIN, JOCHEN;GROSSE, AXEL;GEHL, BERNHARD |
发明人 |
ZOELLIN, JOCHEN;GROSSE, AXEL;GEHL, BERNHARD |
分类号 |
H04R19/00 |
主分类号 |
H04R19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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