Funktionsschichtübertragungsanordnung, Verfahren zu deren Herstellung, Übertragungsverfahren für eine Funktionsschicht und Verwendung einer plasmapolymeren Schicht oder einer Funktionsschichtübertragungsanordnung zum Übertragen einer Funktionsschicht auf ein Substrat

摘要

Funktionsschichtübertragungsanordnung, umfassend einen Träger, eine Funktionsschicht und eine zwischen dem Träger und der Funktionsschicht angeordnete Trennschicht, wobei (a) die Funktionsschicht keine Lackschicht und eine mittels vakuumgestützten Beschichtungsverfahrens und/oder mittels eines plasmd der Träger kein Wafer ist (b) die Trennschicht eine plasmapolymere Schicht ist, bestehend aus Kohlenstoff, Wasserstoff, Silizium und Sauerstoff sowie gegebenenfalls üblichen Verunreinigungen, wobei im ESCA-Spektrum der plasmapolymeren Trennschicht auf der der Funktionsschicht abgewandten Seite, bei Kalibrierung auf den aliphatischen Anteil des C 1s Peaks bei 285,00 eV, im Vergleich mit einem trimethylsiloxy-terminierten Polydimethylsiloxan (PDMS) mit einer kinematischen Viskosität von 350 mm2/s bei 25°C und einer Dichte von 0,97 g/mL bei 25°C, der Si 2p Peak einen Bindungsenergiewert besitzt, der um maximal 0,65 eV zu höheren oder niedrigeren Bindungsenergien verschoben ist, und der O 1s Peak einen Bindungsenergiewert besitzt, der um maximal 0,70 eV zu höheren oder niedrigeren Bindungsenergien...