发明名称 METHOD FOR GENERATING CONDUCTIVE OR SEMI-CONDUCTIVE METAL OXIDE LAYERS ON SUBSTRATES AND SUBSTRATES PRODUCED IN SAID MANNER
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer leitenden oder halbleitenden metalloxidischen Schicht auf einem Substrat, insbesondere zur Herstellung leitender oder halbleitender Strukturen, wobei zunächst eine ammoniakalische, insbesondere wäßrig-ammoniakalische Lösung mindestens eines Metallions des betreffenden Metalloxids hergestellt und nachfolgend auf ein Substrat aufgetragen wird und anschließend das Lösemittel unter Abscheidung und/oder Ausfällung des betreffenden Metalloxids auf dem Substrat entfernt wird, sowie die auf diese Weise erhältlichen metalloxidbeschichteten Substrate und deren Verwendung.</p>
申请公布号 WO2011082782(A1) 申请公布日期 2011.07.14
申请号 WO2010EP07644 申请日期 2010.12.15
申请人 UNIVERSITAET DUISBURG-ESSEN;THEISSMAN, RAIF;NEUMANN, SIEGRIED;BUBEL, SIMON;SCHIERNING, GABI;SANLIALP, MEHMET;SCHMECHEL, ROLAND 发明人 THEISSMAN, RAIF;NEUMANN, SIEGRIED;BUBEL, SIMON;SCHIERNING, GABI;SANLIALP, MEHMET;SCHMECHEL, ROLAND
分类号 H01L21/02;C23C18/12;H01L21/368 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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