发明名称 Verfahren zur Messung von Streulicht mit einer kompakten mikrooptoelektronischen Emitter-Empfänger-Baugruppe und Streulichtsensor
摘要 Verfahren zur Messung von Streulicht mit einer kompakten mikrooptoelektronischen Emitter-Empfänger-Baugruppe, welche ein Substrat (10) mit lichtsensitiven Detektoren (7) enthält, einen oder mehrere auf dem Substrat (10) verankerte optische Emitter (1), einen sich über dem Substrat (10) befindenden strukturierten Abstandhalter (6), der ein Luftvolumen um den Emitter (1) erzeugt und ein strahlformendes mikrooptisches Element, welches sich in dem Luftvolumen befindet und an einer Abdeckung (3) fixiert ist, wobei die die Baugruppe verlassende Strahlung einen Hohlzylinder oder einen divergierenden Hohlkegel bildet, der nach Durchstrahlung eines streuenden Mediums auf eine Fläche eines Absorbers (9) trifft, die einer Querschnittsfläche des Hohlzylinders oder des divergierenden Hohlkegels entspricht, wobei Restreflexionen, die den Absorber (9) verlassen, die Detektoren (7) nicht erreichen können, und wobei die am streuenden Medium gestreute Strahlung auf zentral an den Absorber angrenzende reflektierende Bereiche trifft und von dort die Detektoren (7) erreicht.
申请公布号 DE102007049189(B4) 申请公布日期 2011.07.14
申请号 DE200710049189 申请日期 2007.10.13
申请人 CIS INSTITUT FUER MIKROSENSORIK GMBH 发明人 MUELLER, RALF, DR.;FOERSTER, ERIK, M. ENG.
分类号 H01L31/167;G01J1/04;G01N21/53;H01L31/0232;H01S5/026 主分类号 H01L31/167
代理机构 代理人
主权项
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