发明名称 |
硅太阳能电池电学和光学性能的改进 |
摘要 |
公开了硅太阳能电池电学和光学性能的改进,以及制造光电电池或光电转换板的方法,其包括使用包含比例为1∶2∶2∶1.25的硅烷、甲烷、氢气和三甲基硼的气体混合物沉积p-掺杂非晶硅层。特别地,使用等离子体增强化学气相沉积进行沉积。同时说明了相应的光电电池和光电转换板。 |
申请公布号 |
CN102124139A |
申请公布日期 |
2011.07.13 |
申请号 |
CN200980132433.X |
申请日期 |
2009.08.06 |
申请人 |
欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫) |
发明人 |
S·贝纳格利;J·迈尔;U·克罗尔 |
分类号 |
C23C16/22(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I;H01G9/20(2006.01)I;H01L31/0368(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/22(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
范赤;艾尼瓦尔 |
主权项 |
一种制造光电电池或光电转换板的方法,其包括使用包含比例为1∶2∶2∶1.25的硅烷、甲烷、氢气和三甲基硼的气体混合物来沉积p‑掺杂非晶硅层、更具体地非晶氢化硅层的步骤,各比例在±15%内。 |
地址 |
瑞士特吕巴赫 |