发明名称 |
可靠性的测试方法及其测试设备 |
摘要 |
一种可靠性的测试方法,包括:提供待测元件,所述待测元件具有电极;提供测试设备,所述测试设备的电流电压单元的信号端通过至少一个电感器与待测元件的电极相连。相应地,本发明还提供一种可靠性的测试设备。本发明通过在测试设备的电流电压单元的信号端与待测元件的电极之间串联至少一个电感器,由于电感器在电流突变时具有延时作用,通过延迟测试设备积蓄的高能量施加在待测元件的两极,使得电流电压单元有足够时间测出击穿电流值,并且通过程序做出判断,及时退出测试,从而防止探针以及待测元件的电极烧毁。 |
申请公布号 |
CN101324652B |
申请公布日期 |
2011.07.13 |
申请号 |
CN200710042199.4 |
申请日期 |
2007.06.11 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
周柯;陈祯祥 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I;G01R31/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
一种可靠性的测试方法,其特征在于,包括:提供待测元件,所述待测元件具有正、负电极,所述待测元件为电容器;提供测试设备,包括:电流电压单元,用于对待测元件施加电压和测试所述待测元件的电流;一对探针,分别与所述待测元件的正、负电极对应接触;电感器,连接于所述电流电压单元和探针之间,当待测元件被击穿瞬间产生电流突变时,用以延迟所述电流电压单元施加下一次电压于待测元件,防止测试设备烧毁;测试设备向待测元件逐步施加电压,所述电流电压单元对应测量经过待测元件的电流值;比较所述测量电流值与标准击穿电流值,若测量电流值大于标准击穿电流值,则停止施加下一次电压,测试终止。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |