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发明名称 DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM WITH MAGNETIC FILTER
摘要
申请公布号 EP2342732(A1) 申请公布日期 2011.07.13
申请号 EP20090749164 申请日期 2009.09.14
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - CNRS;RAITH GMBH 发明人 JEDE, RALF;GIERAK, JACQUES
分类号 H01J27/02;H01J3/40;H01J37/08 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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