基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器

摘要

本发明公开了一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，包括基座、特性一致的三块分别安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器的传感器电路板、数据采集与处理电路板和与基座相连的盖板，所述安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器的传感器电路板上安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器，保证每块电路板上的两个微型单轴加速度敏感元件/传感器关于传感器电路板的中心轴线对称且敏感轴线相互垂直；所述基座为在一块实体上加工出的三个相互垂直的表面作为传感器电路板的安装基面。由于采用了微型单轴加速度传感器作为敏感器件，同时有机集成了数据处理电路板，本发明具有结构紧凑、体积小、集成度高的优点。

主权项

一种基于微型单轴加速度敏感元件/传感器的六维加速度传感器，包括基座(4)、特性一致的三块分别安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)的传感器电路板(3)、数据采集与处理电路板(2)和盖板(1)，其特征在于：基座(4)上有三个相互垂直的表面作为三块传感器电路板(3)的安装平面；每块传感器电路板(3)上表面安装两个微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)，并保证两个微型单轴加速度敏感元件/传感器(9)关于传感器电路板(3)表面中线对称且敏感轴线相互垂直，各自敏感质心到垂足的距离均为l，l为六维加速度传感器的尺度参数；各传感器电路板(3)固定在所述安装平面上并与所述安装平面定位，保证在不同传感器电路板上且相邻两微型单轴加速度敏感单元/传感器的敏感轴线相互垂直且共面，同时各自敏感质心到垂足的距离均为l。