喷嘴浸泡装置

摘要

本实用新型提供一种喷嘴浸泡装置，包括保护槽，所述保护槽底面设有一外凸的突起，所述突起与保护槽为一体成型，所述突起内设有浸泡槽，所述浸泡槽与所述保护槽相通，所述浸泡槽与所述喷嘴相适配。综上所述，所述清洗装置可以直接对准所述喷头，将喷头浸泡在清洗液中，从而所述喷嘴浸泡步骤不需要将所述喷嘴从固定装置上拆卸下来，即可直接清洗所述喷嘴，从而避免在安装拆卸所述喷嘴时对喷嘴造成的损坏，以及因安装误差造成喷嘴喷射不均匀对晶圆造成的影响。此外，所述喷嘴浸泡装置的结构简单，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比喷嘴低，不易因为触碰损伤喷嘴，同时塑料为常见材料，故成本低，故易于制作。

主权项

一种喷嘴浸泡装置，其特征在于，包括保护槽、设置在所述保护槽底面的突起，所述突起的突出方向为与所述保护槽的开口方向相反，所述突起与保护槽为一体成型，所述突起内设有浸泡槽，所述浸泡槽与所述保护槽相通，所述浸泡槽与所述喷嘴相适配。