用于气相淀积系统的冷却系统和方法

摘要

本发明涉及用于气相淀积系统的冷却系统和方法。一种用于将薄膜层气相淀积到光电(PV)模块衬底(14)上的系统(10)包括用于冷却真空室(12)的系统(100)，在气相淀积过程中，衬底被传送通过真空室(12)。该冷却系统关于真空室而构造，以便使冷却气体在闭合冷却回路中再循环通过真空室且通过外部热交换器(108)。还提供了一种用于强制冷却真空室的相关联的方法。

主权项

一种用于将薄膜层气相淀积在光电(PV)模块衬底(14)上的系统(10)，包括：真空室(12)，在气相淀积过程中，衬底被传送通过该真空室(12)，其中，源材料被升华和淀积到所述衬底(14)的表面上；以及对所述真空室构造的、用于使冷却气体再循环通过所述真空室的冷却系统(100)，所述冷却系统包括外部热交换器(108)，所述冷却气体在闭合冷却回路中再循环通过所述外部热交换器(108)。