振动片、振子、物理量传感器以及电子设备

摘要

振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。本发明的目的是提供一种具有进行扭转振动的振动片的高精度的物理量传感器。作为解决手段，振动片具有：第1驱动梁及第2驱动梁，其以扭转振动模式振动，且相互并列地在X轴方向上延伸；支撑部，其结合第1驱动梁及第2驱动梁的一端彼此及另一端彼此；以及第1检测臂及第2检测臂，其在相对于X轴方向垂直的Y轴方向上，分别从第1驱动梁及第2驱动梁延伸，在驱动模式中，第1驱动梁及第2驱动梁在相反的方向上扭转振动，第1检测臂及第2检测臂在Z轴方向上振动，并且，第1检测臂及第2检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕Y轴方向施加了角速度时，第1检测臂及第2检测臂在X轴方向上振动。

主权项

一种振动片，其特征在于，该振动片具有：驱动梁，其具有以扭转振动模式振动，且相互并列地在第1方向上延伸的第1梁和第2梁；支撑部，其结合所述第1梁及所述第2梁的一端彼此及另一端彼此；以及在平面视图中相对于所述第1方向垂直的第2方向上分别从所述第1梁及所述第2梁延伸出的检测臂，在驱动模式中，所述第1梁及所述第2梁在相反的方向上扭转振动，各个所述检测臂在包含所述第1方向及所述第2方向的平面的法线方向上振动，并且，从所述第1梁延伸出的所述检测臂与从所述第2梁延伸出的所述检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕所述第2方向施加了角速度时，所述检测臂在所述第1方向上振动。