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发明名称
摘要
申请公布号
JP4720019(B2)
申请公布日期
2011.07.13
申请号
JP20010150101
申请日期
2001.05.18
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;F25D9/00;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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