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发明名称
A method to create super secondary grain growth in narrow trenches
摘要
申请公布号
EP1845554(A3)
申请公布日期
2011.07.13
申请号
EP20060126251
申请日期
2006.12.15
申请人
IMEC
发明人
BEYER, GERALD;BRONGERSMA, SYWERT H.
分类号
H01L21/288;H01L21/768
主分类号
H01L21/288
代理机构
代理人
主权项
地址
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