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发明名称
摘要
申请公布号 JP4723503(B2) 申请公布日期 2011.07.13
申请号 JP20060532925 申请日期 2004.05.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/311;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/461;H05H1/24 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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