控制宽束一致性的系统和方法

摘要

本发明公开一种离子束一致性控制系统，其中，该一致性控制系统系包含：差动泵送室，其围绕单独的控制的气体喷射器的阵列，其中，单独控制的气体喷射的气体压力由控制器所驱动以改变电荷交换离子的比率，且于气体与离子之间的电荷交换反应改变了具有一宽离子束的原始电荷状态的离子的比率，其中，宽离子束的电荷交换部分系利用其产生磁场的一偏转器而移除；法拉第杯轮廓仪，用于测量宽离子束轮廓；且，基于提供至控制器的反馈而调整单独控制的气体喷射以得到期望的宽离子束。

主权项

一种离子束一致性控制系统，其中，该一致性控制系统包括：差动泵送室，其围绕单独控制的气体喷射器的阵列；其中，该单独控制的气体喷射器的气体压力由控制器所驱动以改变电荷交换离子的比率；及其中，在该气体与离子之间的电荷交换反应改变具有宽离子束的原始电荷状态的离子的比率；其中，该宽离子束的电荷交换部分利用产生磁场的偏转器而移除；法拉第杯轮廓仪，用于测量该宽离子束的轮廓；且基于提供至该控制器的反馈，调整该单独控制的气体喷射器，以得到期望的宽离子束。