光学各向异性参数测定装置

摘要

提出了即使是各向异性小的测定对象物，也不受样品台或样品的微细图案引起的散射光的影响，采用和SMP法同样的手法，能够高精度且简单地测定光学各向异性参数的差动SMP法。相对于测定对象物(2)的测定面，将P偏振光和S偏振光中的任一个的方向作为基准方向；将入射光和测定光中的一个作为在基准方向上振动的直线偏振光；将入射光和测定光中的另一个作为在相对于基准方向±δ(δ≠nπ/2、n是整数)的方向上振动的一对直线偏振光；测定对应于该一对直线偏振光的两种测定光的光强度；基于表示获得的两个光强度数据的差分的差分数据来测定光学各向异性参数。

主权项

一种光学各向异性参数测定方法，将直线偏振光作为入射光从多个方位照射各向异性测定对象物，在其反射光中所包含的直线偏振光分量中，将特定方向的直线偏振光作为测定光来测定其光强度，由此测定光学各向异性参数，该光学各向异性参数测定方法的特征在于：相对于上述测定对象物的测定面，将P偏振光和S偏振光中的任一个的方向作为基准方向；将上述入射光和测定光中的一个作为在上述基准方向上振动的直线偏振光；将上述入射光和测定光中的另一个作为在相对于上述基准方向±δ的方向上振动的一对直线偏振光，其中，δ≠nπ/2且n是整数；测定对应于上述一对直线偏振光的两种测定光的光强度；基于表示获得的两个光强度数据的差分的差分数据来测定光学各向异性参数。