使用扫描干涉测量形成复杂表面结构的轮廓以及对其表征

摘要

一种方法，其包括：将可从用于测试对象的第一表面位置的扫描干涉测量信号导出的信息和与测试对象的多个模型相对应的信息相比较，其中，通过一系列用于测试对象的特性而将所述多个模型参数化。与多个模型相对应的信息可包括：与每个测试对象的模型相对应的、有关扫描干涉测量信号的变换(例如，傅立叶变换)的至少一个幅值分量的信息。在第二方面中，所述模型对应于固定表面高度，并且，通过不同于固定表面高度的一系列特性将它们参数化。在第三方面中，所述比较包括：考虑对干涉测量信号的系统贡献。

主权项

一种干涉测量方法，其包括：将可从用于测试对象的第一表面位置的扫描干涉测量信号导出的信息和与测试对象的多个模型相对应的信息相比较，其中，通过一系列用于测试对象的特性而将所述多个模型参数化，其中，与多个模型相对应的信息包括：与每个测试对象的模型相对应的、有关扫描干涉测量信号的变换的至少一个幅值分量的信息。