发明名称 Substrate conveying arm
摘要
申请公布号 EP2168727(B1) 申请公布日期 2011.07.13
申请号 EP20090011925 申请日期 2009.09.18
申请人 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 OKAMOTO, HIDEKI;MINOBE, TAKESHI;TAKIURA, HIROFUMI
分类号 B25J15/06 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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