发明名称 |
一种双轨相变存储器及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种双轨相变储存器,包括下电极、下加热电极、相变材料层和上电极。下电极为栓状,下加热电极、相变材料层和上电极自下而上地设置在下电极上。本发明还提供一种双轨相变储存器的制备方法。本发明储存器的热效率更高、结构新颖,且可控制加热电极材料与相变材料接触面积。 |
申请公布号 |
CN102122700A |
申请公布日期 |
2011.07.13 |
申请号 |
CN201110001523.4 |
申请日期 |
2011.01.06 |
申请人 |
上海新储集成电路有限公司 |
发明人 |
吴关平;万旭东;陈邦明 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 |
代理人 |
董红曼 |
主权项 |
一种双轨相变存储器,其特征在于,包括下电极(2)、下加热电极(4)、相变材料层(6)和上电极(7);所述下电极(2)为栓状,所述下加热电极(4)、相变材料层(6)和上电极(7)自下而上地设置在下电极(2)上;所述下加热电极(4)与相变材料层(6)构成轨道,所述轨道成对出现。 |
地址 |
201506 上海市金山区亭卫公路6505号2栋8号 |