发明名称 一种双轨相变存储器及其制备方法
摘要 本发明提供一种双轨相变储存器,包括下电极、下加热电极、相变材料层和上电极。下电极为栓状,下加热电极、相变材料层和上电极自下而上地设置在下电极上。本发明还提供一种双轨相变储存器的制备方法。本发明储存器的热效率更高、结构新颖,且可控制加热电极材料与相变材料接触面积。
申请公布号 CN102122700A 申请公布日期 2011.07.13
申请号 CN201110001523.4 申请日期 2011.01.06
申请人 上海新储集成电路有限公司 发明人 吴关平;万旭东;陈邦明
分类号 H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 代理人 董红曼
主权项 一种双轨相变存储器,其特征在于,包括下电极(2)、下加热电极(4)、相变材料层(6)和上电极(7);所述下电极(2)为栓状,所述下加热电极(4)、相变材料层(6)和上电极(7)自下而上地设置在下电极(2)上;所述下加热电极(4)与相变材料层(6)构成轨道,所述轨道成对出现。
地址 201506 上海市金山区亭卫公路6505号2栋8号