发明名称 | 一种电容式硅传声器 | ||
摘要 | 本发明是一种电容式硅传声器,由自由振膜为电容的一个可动极板,以消除振膜内应力,以复合层厚背极,形成电容的另一个不动极板。在自由振膜边缘设计锯齿,减少释放牺牲层所需时间,避免由于长时间释放牺牲层而造成对其它结构的破坏,且提高振膜的振动灵敏度。本发明包括硅衬底、绝缘层、自由振膜、牺牲层以及背极;振膜下面为体硅腐蚀形成的背腔,振膜和背极之间形成气隙,背腔与气隙之间隔着振膜;在背极上与振膜形状相对应的位置,有大量的声孔,声孔与气隙直接相通;其为背极在上、振膜在下的电容结构,电容的上极板为低应力刚性背极,下极板为自由振膜。本发明具有高灵敏度、低噪声的特性,制作工艺简单,容易实现。 | ||
申请公布号 | CN1960581B | 申请公布日期 | 2011.07.13 |
申请号 | CN200510115448.9 | 申请日期 | 2005.11.03 |
申请人 | 歌尔声学股份有限公司 | 发明人 | 梅嘉欣;宋青林;乔峰;王显彬;姜滨 |
分类号 | H04R19/04(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周国城 |
主权项 | 一种电容式硅传声器,包括:硅衬底、绝缘层、自由振膜、牺牲层,上电极以及背极;其特征在于:自由振膜下面为体硅腐蚀形成的背腔,自由振膜和背极之间为气隙,背腔与气隙之间隔着自由振膜;其为背极在上、振膜在下的电容结构,电容的上极板为低应力刚性背极,下极板为自由振膜;在背极上与自由振膜形状相对应的位置,设有多个声孔,声孔与气隙直接相通;所述自由振膜,其边缘有多个锯齿,自由振膜通过引线电极和周围相连,振膜形状是方形、圆形或其它多边形。 | ||
地址 | 261031 山东省潍坊市高新区东方路北首 |