主权项 |
一种晶圆包膜纸(二),包括: 一胶膜层,包含一基材膜及一黏着剂层,该基材膜为一聚合物薄膜,该黏着剂层系涂布于该基材膜之一表面;以及一隔离层,包含一纸层及一聚合物层,该纸层系为一纸材,该聚合物层系涂布于该纸层顶面,该隔离层上表面压设形成复数个凸纹,该隔离层系透过该黏着剂层与该基材膜贴覆黏合成一体,使该凸纹之间形成气流通道。如申请专利范围第1项所述之一种晶圆包膜纸(二),其中,该基材膜系以聚对苯二甲酸酯(PET)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)或聚乙烯(PE)之材质制成。如申请专利范围第1项所述之一种晶圆包膜纸(二),其中,该聚合物层之材质为聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、聚烯烃(PO)、乙烯-醋酸乙烯脂共聚物(EVA)或以上材质之混合物制成。 |