发明名称 连续曝光机之入料前乾膜间距检知装置
摘要
申请公布号 TWM407410 申请公布日期 2011.07.11
申请号 TW100202676 申请日期 2011.02.14
申请人 台郡科技股份有限公司 发明人 蔡杰志;刘瑞益;王鹏超;庞规浩;曾松裕;连春智
分类号 G03F7/20;H01L21/67 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种连续曝光机之入料前乾膜间距检知装置,其系设于连续曝光机的放卷装置与曝光装置之间,检测进入曝光装置前之制品的乾膜间距,该连续曝光机之入料前乾膜间距检知装置包含有一可撷取影像并检知乾膜间距的检知镜头,以及一电性连接该检知镜头的萤幕,并可显示乾膜间距数值之影像,以及一与检知镜头相对的背光模组,辅助制品影像的辨识,该检知镜头电性连接连续曝光机的控制单元。如申请专利范围第1项所述之连续曝光机之入料前乾膜间距检知装置,其中,该萤幕设于该检知镜头上。如申请专利范围第1或2项所述之连续曝光机之入料前乾膜间距检知装置,其中,该萤幕为液晶萤幕。
地址 高雄市大寮区大发工业区莒光一街23号
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