| 主权项 |
一种多段加压吸附具，系由分别加压工件之一部分的复数个加压吸附具要件、与设于各吸附具要件间的弹簧，朝加压方向串联组合而成，其特征在于：于加压状态，各弹簧系藉由其弹压力将较该弹簧位于工件侧之加压吸附具要件紧压于工件；于初始状态，各加压吸附具要件系组合成该加压吸附具要件之工件侧前端位置、与相邻加压吸附具要件之工件侧前端位置，具有各弹簧之压缩量的段差。如申请专利第1项之多段加压吸附具，其中，复数个加压吸附具要件，包含：柱状吸附具要件，配设于中央；及复数个环状吸附具要件，系以巢套状叠合于该柱状吸附具要件外周。如申请专利第1项之多段加压吸附具，其中，复数个加压吸附具要件，包含：柱状吸附具要件，配设于一端；及复数个角型吸附具要件，系在与加压方向成直角方向朝向另一端叠合于该柱状吸附具要件。如申请专利第1至3项中任1项之多段加压吸附具，其中，可藉由变更各弹簧，来变更各加压吸附具要件紧压工件之加压压力。如申请专利第1至3项中任1项之多段加压吸附具，其中，各加压吸附具要件紧压工件之加压压力均匀。如申请专利第4项之多段加压吸附具，其中，各加压吸附具要件紧压工件之加压压力均匀。 |
