| 主权项 |
一种正型感光性树脂组成物，其系至少含有：(A)含具有酸解离性基之由下述通式(1)所示的构成单位及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能基之氧杂环丁烷基之构成单位；并为硷不溶性或硷难溶性且当该酸解离性基解离后时成为硷可溶性之树脂；及(B)藉由照射活性光线或放射线来产生酸的含有下述通式(2)所示含肟磺酸盐基之化合物，@sIMGTIF!d10036.TIF@eIMG!在通式(1)，R1系表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基，R2及R3系各自独立地表示氢原子、直链状或分枝状烷基、或环烷基，其中，R2及R3之至少一者系表示直链状或分枝状烷基或环烷基，R4系亦可被取代之直链状或分枝状烷基、环烷基、或芳烷基，R2或R3与R4亦可连结而形成环状醚，@sIMGTIF!d10037.TIF@eIMG!在通式(2)，R5系表示亦可被取代之直链状或分枝状烷基、环烷基、或芳基；其中相对于100质量份之(A)成分，(B)成分为0.1~10质量份。一种正型感光性树脂组成物，其系至少含有：(A)含具有酸解离性基之由下述通式(1)所示的构成单位及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能基之构成单位；并为硷不溶性或硷难溶性且当该酸解离性基解离后时成为硷可溶性之树脂；及(B)藉由照射活性光线或放射线来产生酸的含有下述通式(2)所示含肟磺酸盐基之化合物，其中该具有能够与羧基反应而形成共价键的官能基之构成单位系以使用下述通式(4)所示自由基聚合性单体所形成的含有环氧基作为官能基之构成单位；@sIMGTIF!d10038.TIF@eIMG!在通式(1)，R1系表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基，R2及R3系各自独立地表示氢原子、直链状或分枝状烷基、或环烷基，其中，R2及R3之至少一者系表示直链状或分枝状烷基或环烷基，R4系亦可被取代之直链状或分枝状烷基、环烷基、或芳烷基，R2或R3与R4亦可连结而形成环状醚，@sIMGTIF!d10039.TIF@eIMG!在通式(2)，R5系表示亦可被取代之直链状或分枝状烷基、环烷基、或芳基，@sIMGTIF!d10040.TIF@eIMG!X系表示2价的有机基，R7系表示氢原子、甲基或卤素原子，R11与R12系各自独立地表示氢原子或烷基，n系1~10的整数；其中相对于100质量份之(A)成分，(B)成分为0.1~10质量份。如申请专利范围第2项之正型感光性树脂组成物，其中该具有能够与羧基反应而形成共价键的官能基之构成单位系使用3,4-环氧环己基甲基丙烯酸酯或3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯所形成之构成单位。如申请专利范围第1至3项中任一项之正型感光性树脂组成物，其中(B)成分系下述通式(3)所示之化合物，@sIMGTIF!d10041.TIF@eIMG!在通式(3)，R5系与在式(2)之R5相同，X系表示直链状或分枝状烷基、烷氧基、或卤素原子，m系表示0~3的整数，m系2或3时，复数个X可以相同亦可以不同。如申请专利范围第1至3项中任一项之正型感光性树脂组成物，其中更含有(C)黏附助剂。一种硬化膜形成方法，系含有：在基板上涂布如申请专利范围第1至3项中任一项之正型感光性树脂组成物并乾燥，来形成涂膜；透过光罩使用活性光线或放射线将该涂膜曝光；使用硷性显像液显像来形成图案；及加热处理该图案。如申请专利范围第6项之硬化膜形成方法，其中在形成该图案后，在加热处理该图案之前，更包含全面曝光。 |
