| 主权项 |
一种晶粒拾取装置，系具备：用以吸附保持晶圆片(排列整齐之晶粒贴合于其上方)下面之吸附体；配置在该吸附体内侧之上顶机构；以及用以上下驱动该上顶机构之上下驱动机构；该上顶机构具有从外侧至内侧依序配置之3个环状之第1段、第2段、第3段上顶构件；该第3段上顶构件连结至以该上下驱动机构进行上下驱动之驱动上下动轴，藉由该驱动上下动轴之上昇，最初使3个上顶构件同时上昇，接着使第2段上顶构件与第3段上顶构件进一步上昇，最后使第3段上顶构件进一步上昇，将晶圆片从晶粒外周侧至内侧逐渐剥离，其特征在于：该第1段上顶构件之纵截面形成凹部形状，在外周以可上下调整位置之方式设有第1段制动件，其会与该吸附体接触而使该第1段上顶构件停止上昇；该第2段上顶构件之纵截面形成凹部形状且配置在该第1段上顶构件之凹部内，以与第1段上顶构件之凹部底面保持既定空间之方式设有连动制动件，并进一步以贯通该第1段上顶构件之凹部底面部之方式设有制动轴，在该制动轴以可上下调整位置之方式设有第2段制动件，其会与该第1段上顶构件接触而使该第2段上顶构件停止上昇；在该第3段上顶构件固定有连结上下动轴，其贯通该第2段上顶构件及第1段上顶构件而朝下方延伸，且连接至该驱动上下动轴；在该连结上下动轴上，将第1段保持用压缩弹簧(用以将第1段上顶构件往上方弹压)配置于第1段上顶构件下面侧，将第2段保持用压缩弹簧(用以将第2段上顶构件往上方弹压)配置于第1段上顶构件与第2段上顶构件之空间部；该第1段上顶构件及第2段上顶构件系透过轴承支承于该连结上下动轴，固定于该吸附体之吸附体支持块体系透过轴承支承于该驱动上下动轴，在该驱动上下动轴，于该第1段上顶构件之下方部分及该第1段上顶构件之凹部底面之上方部分分别以可相对该驱动上下动轴上下移动之方式嵌插固定弹力调整用模具，且在该各弹力调整用模具与该第1段上顶构件及第2段上顶构件之间分别配置压缩弹簧，藉由使该各弹力调整用模具上下移动调整压缩弹簧之弹力。一种晶粒拾取装置，系具备：用以吸附保持晶圆片(排列整齐之晶粒贴合于其上方)下面之吸附体；配置在该吸附体内侧之上顶机构；以及用以上下驱动该上顶机构之上下驱动机构；该上顶机构具有从外侧至内侧依序配置之3个环状之第1段、第2段、第3段上顶构件；该第3段上顶构件连结至以该上下驱动机构进行上下驱动之驱动上下动轴，藉由该驱动上下动轴之上昇，最初使3个上顶构件同时上昇，接着使第2段上顶构件与第3段上顶构件进一步上昇，最后使第3段上顶构件进一步上昇，将晶圆片从晶粒外周侧至内侧逐渐剥离，其特征在于：该第1段上顶构件之纵截面形成凹部形状，在外周以可上下调整位置之方式螺合设有第1段制动件，其会与该吸附体接触而使该第1段上顶构件停止上昇，在该吸附体之内侧，第1段制动件会接触并停止上升之段部系与第1段制动件对向形成；该第2段上顶构件装载于形成在该第1段上顶构件之凹部内之段部，且以可沿该第1段上顶构件上下移动之方式配置，在该第2段上顶构件以贯通第1段上顶构件之方式固定制动件接收轴；在制动件接收轴固定有环状第2段制动件接收板；与该制动件接收板对应，在该第1段上顶构件之下端侧之外周以可上下调整位置之方式螺合设有第2段制动件，其会与该第2段制动件接收板接触而停止上升；在该制动件接收轴以可上下移动之方式设有由该制动件接收轴下端部所支持之第1段压缩弹簧保持块体；该第3段上顶构件固定有连结上下动轴，其贯通该第1段上顶构件而朝下方延伸、且连结至该驱动上下动轴；在该连结上下动轴上，于第2段上顶构件底面上的部分固定有定位模具，在该第1段压缩弹簧保持块体与该第1段上顶构件间配置有第1段保持用压缩弹簧(用以将第1段上顶构件往上方弹压)；在该定位模具与该第2段上顶构件间配置有第2段保持用压缩弹簧(用以将第2段上顶构件往上方弹压)；该第1段上顶构件系可上下移动地直接配置于该第2段上顶构件，该第2段上顶构件系可上下移动地直接配置于该第3段上顶构件。 |
