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一种高纯度氨气体之供应机器，其特征系于高纯度氨气体供应机器中藉由未含卤素之树脂构成该供应机器之密封部及/或连接气体部者，又，该未含卤素之树脂系聚醚醚酮树脂。如申请专利范围第1项之高纯度氨气体之供应机器，其中，该高纯度氨气体供应机器中，该供应机器密封部系由密封部本体与连接于该密封部本体后赋予密封性之该连接部材所构成者，该密封部本体系由聚醚醚酮树脂之未含卤素之树脂所构成，同时，与该连接部材之至少该密封部本体之连接部，系藉由选自不锈钢、钴基合金、高耐蚀性镍基合金、或氧化铝、氮化铝及碳化矽所成群之陶瓷所构成者。如申请专利范围第2项之高纯度氨气体之供应机器，其中该未含卤素之树脂洛氏表面硬度为R30~R150者。如申请专利范围第1项或第2项之高纯度氨气体之供应机器，其中该高纯度氨气体之供应机器为圆筒阀门者。如申请专利范围第1项或第2项之高纯度氨气体之供应机器，其中该高纯度氨气体之供应机器为压力调整器者。如申请专利范围第1项或第2项之高纯度氨气体之供应机器，其中该高纯度氨气体之供应机器为流量调整装置者。如申请专利范围第1项或第2项之高纯度氨气体之供应机器，其中该高纯度氨气体之供应机器为管线滤器者。如申请专利范围第1项或第2项之高纯度氨气体之供应机器，其中该高纯度氨气体之供应机器为管线阀门者。一种高纯度氨气体之供应方法，其特征系使用如申请专利范围第4项至第8项中任一项之高纯度氨气体之供应机器，藉由供应高纯度氨气体之气体流路，以供应不会使该气体纯度劣化之高纯度氨气体者。 |
