| 主权项 |
一种感测器，其具有正交的x、y及z轴，用以侦测z轴转动速率，包含：一基底；以及一总质量，对称于x轴，并以多数内部及外部定锚点由基底悬吊，其包含：至少两中间惯性质量，相对称于x轴及y轴；一驱动框架包围每一中间惯性质量并以挠性件连接中间惯性质量及外部定锚点；用于每一驱动框架沿x轴振荡之一组驱动微致动器及第一感测微致动器；一接至每一中间惯性质量以侦测y轴向柯氏力运动之第二感测微致动器；至少两转动刚性梁，每一刚性梁于中间组装于内部定锚点，并可依定锚点由x-y平面正交转动至z轴；以及多数内框架支撑，相对称于y轴，将转动刚性梁连接至框架，并包含多数非转动刚性梁及多数挠性件，供仅在中间惯性质量沿y轴所导致柯氏力感应反相运动时容许框架沿x轴反相运动。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，每一驱动微致动器及每一感测微致动器为电容式梳状微致动器。如申请专利范围第2项所述感测器，其中，电容式梳状微致动器用为决定中间惯性质量相关位置，相关位置用以决定转动感测速率。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，转动刚性梁、非转动刚性梁及挠性件至少连接形成一强制坍塌之菱形。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，转动刚性梁包含两对于xy平面形成长方形并含有内部定锚点之转动刚性梁。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，转动刚性梁包含于y轴位在同一线上之两转动刚性梁。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，转动刚性梁包含三转动刚性梁两组，每一组含有于y轴位在同一线上之定锚点。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，至少一非转动刚性梁包括一阻抗弯曲之角件。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，感测器选择以含有下列群组之制造技术制成：a)深层活性离子蚀刻；b)表面微机械加工；以及c)体型微机械加工。如申请专利范围第1项所述感测器，其中，感测器选择以含有下列群组之材料制成：a)单晶矽晶片；b)绝缘矽晶片；c)多晶矽晶片；以及d)磊晶片。 |
