| 摘要 |
Способ получения боросиликатных слоев, включающий процесс диффузии бора с применением жидкого источника - трехбромистого бора (BBr3), отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется жидкий источник - трехбромистый бор (BBr3) при следующем расходе газов: азот N2=240 л/ч, кислород O2=120 л/ч, температура -880°C, время загонки бора -14±2 мин, причем поверхностное сопротивление равно RS=45±5 Ом/см. |
