发明名称 СПОСОБ ПАЙКИ КРИСТАЛЛОВ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ
摘要 Способ пайки кристаллов на основе карбида кремния, включающий формирование на паяемой стороне кристалла двухслойного покрытия никель/серебро и пайку к основанию корпуса из металлизированного нитрида алюминия, отличающийся тем, что на паяемые поверхности кристалла и корпуса наносят адгезионный слой, а затем металлическую связку из сплава Ni-B толщиной 3-5 мкм для формирования алмазоносного слоя из порошка алмаза с размером зерен 25-30 мкм, которые выступают над металлической связкой на 20-25 мкм, между кристаллом и корпусом размещают фольгу припоя, содержащего адгезионно-активные металлы по отношению к алмазу, толщина фольги припоя выбирается из условия полного заполнения зазоров между алмазными зернами, при этом алмазные зерна на кристалле и корпусе не должны соприкасаться друг с другом в расплаве припоя, а при пайке кристалл подвергают воздействию ультразвуковых колебаний.
申请公布号 RU2009149796(A) 申请公布日期 2011.07.10
申请号 RU20090149796 申请日期 2009.12.31
申请人 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический универси;ОАО "Воронежский завод полупроводниковых приборов-Сборка" (RU) 发明人 Зенин Виктор Васильевич (RU);Бойко Владимир Иванович (RU);Кочергин Александр Валерьевич (RU);Спиридонов Борис Анатольевич (RU);Строгонов Андрей Владимирович (RU)
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址