| 摘要 |
1. Устройство для нанесения металлических покрытий на подложку, включающее вакуумную камеру, содержащую корпус, в котором размещен подложкодержатель с узлом его крепления, в нижней части корпуса размещен электронно-лучевой испаритель наносимого покрытия с блоком катодного излучения потока электронов со входом-выходом, при этом устройство содержит систему контроля процесса нанесения покрытия, включающую верхний центральный кварцевый датчик измерения толщины наносимого покрытия, три или более нижних периферийных кварцевых датчика измерения толщины наносимого покрытия, а также процессор со входом-выходом, при этом верхний центральный кварцевый датчик измерения толщины наносимого покрытия и три или более нижних периферийных кварцевых датчика измерения толщины наносимого покрытия соединены со входом входа-выхода процессора, отличающееся тем, что нижние кварцевые датчики жестко соединены с узлом крепления подложкодержателя, подложкодержатель сопряжен с корпусом вакуумной камеры с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль продольной оси корпуса вакуумной камеры, при этом вход входа-выхода процессора соединен с выходом входа-выхода блока катодного излучения электронов, а выход входа-выхода процессора соединен со входом входа-выхода блока катодного излучения электронов. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что дополнительно содержит блок управления электрическими двигателями, вход которого соединен с выходом процессора, а выходы соединены с управляющими входами электрических двигателей. |
