| 摘要 |
Устройство перемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе, зонд, установленный на торце пьезопривода, подложку, связанную с подложкодержателем, закрепленным на неподвижном основании, отличающееся тем, что устройство снабжено электромагнитом, размещенным таким образом, что силовые линии магнитного поля направлены перпендикулярно подложке, один полюс электромагнита расположен под подложкой, со стороны другого полюса в электромагните выполнено сквозное отверстие, внутрь которого, с зазором, установлен зонд, выполненный из магнитострикционного материала. |
