发明名称 SISTEMA Y PROCEDIMIENTO PARA COLOCAR UN PRODUCTO.
摘要 Sistema para colocar un producto, que comprende un mandril (8; 44; 64; 71; 108) para soportar el producto, una fase (5; 42; 62; 79; 105) intermedia que soporta dicho mandril (8; 44; 64; 71; 108), y una base (7; 41; 61; 72; 107) estacionaria que soporta dicha fase (5; 42; 62; 79; 105) intermedia, por lo que el mandril (8; 44; 64; 71; 108) puede moverse con respecto a la fase (5; 42; 62; 79; 105) intermedia en una primera dirección X (9; 45; 65, 80; 109), y la fase (5; 42; 62; 79; 105) intermedia puede moverse con respecto a dicha base estacionaria en una segunda dirección Y (6; 43; 63; 81; 106), que comprende además al menos un interferómetro (47; 68; 73, 74, 75, 76, 77) láser para medir la posición del mandril (8; 44; 64; 71; 108) en relación con la base (7; 41 ; 61 ; 72; 107) estacionaria, estando unida la parte (47; 68; 73, 74, 75, 76, 77) principal de dicho interferómetro láser a dicha fase (5; 42; 62; 79; 105) intermedia, de manera que puede medir la distancia entre un reflector (10; 49; 67; 83, 84, 85; 110) en el mandril (8; 44; 64; 71; 108) y un reflector (11; 50; 66; 82, 87) en la base (7; 41; 61; 72; 107) estacionaria.
申请公布号 ES2362611(T3) 申请公布日期 2011.07.08
申请号 ES20050702775T 申请日期 2005.01.25
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 BAKKER, ARJAN
分类号 G03F7/20;G01B9/02 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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