发明名称 Mikromechanischer Viskositätssensor und Verfahren zum Betrieb
摘要 Vorrichtung zur Messung der Viskosität in Fluiden mittels der Erzeugung einer stehenden Grenzflächenwelle, bestehend aus folgenden Komponenten: – einem Substrat (4) mit – mindestens zwei oberflächlich am Substrat (4) zueinander benachbart positionierter Membranzellen (1), deren Abmessung in oberflächlicher Richtung kleiner als die Wellenlänge der zu erzeugenden Welle sind, die lediglich minimale gegenseitige mechanische Kopplung aufweisen, denen jeweils ein elektromechanischer Wandler zugeordnet ist und die gegenphasig alternierend ansteuerbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass – zumindest durch einen akustisch harten Rand (3) oder durch einen körperlichen Rand (2) eine erzeugte Grenzflächenwelle zumindest einseitig begrenzbar ist, und – aufgrund des frequenzabhängigen Ausbreitungsverhaltens wie der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Welle, die Viskosität des Fluids (6) und/oder die Dichte bestimmbar ist/sind.
申请公布号 DE102008022215(B4) 申请公布日期 2011.07.07
申请号 DE200810022215 申请日期 2008.05.06
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ECCARDT, PETER-CHRISTIAN;MOOSHOFER, HUBERT, DR.;THRAENHARDT, MARCEL
分类号 G01N11/10 主分类号 G01N11/10
代理机构 代理人
主权项
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