Polierte Halbleiterscheibe und Verfahren zu deren Herstellung und Anordnung bestehend aus einer Halbleiterscheibe und einem Schild

摘要

Polierte Halbleiterscheibe mit einer Vordersaite und einer Rückseite und einem Rand R, der mit dem Abstand eines Radius von einem Zentrum der Halbleiterscheibe entfernt liegt und einen Umfang der Halbleiterscheibe bildet und Teil einer mit einem Profil versehenen Kante der Halbleiterscheibe ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine maximale Abweichung der Ebenheit der Rückseite von einer idealen Ebene in einem Gebiet zwischen R-6 mm und R-1 mm der Rückseite 0,7 μm oder weniger beträgt.