泡沫处理装置

摘要

本发明提供一种泡沫处理装置，第1，能连续并且可靠地将产生的泡沫消泡，第2，不使用消泡剂，进行物理性消泡，第3，在再利用方面、结构方面、后续安装方面、回避成本负担增加方面等成本方面优越。本发明的泡沫处理装置E在电子电路基板的制造工序中使用，并且附设于向基板件A喷射碱性处理液B来进行表面处理的表面处理装置(1)。并且，连续处理泡沫D，具有吸引部(11)和处理部(12)。吸引部从表面处理装置吸引感光性抗蚀剂C溶解于碱性处理液B时所产生的泡沫D。处理部安装于表面处理装置与吸引部之间，将通过吸引所回收的泡沫D分离为液体和气体。在处理部液化、分离泡沫D得到的碱性处理液B返回表面处理装置的液槽(3)，被再利用。

主权项

一种泡沫处理装置，是在电子电路基板的制造工序中使用、并附设于向基板件喷射碱性处理液来进行表面处理的表面处理装置、并且连续处理泡沫的泡沫处理装置，其特征在于，具有吸引部和处理部，所述吸引部，从所述表面处理装置，吸引感光性抗蚀剂溶解于所述碱性处理液时所产生的所述泡沫，所述处理部，安装于所述表面处理装置与所述吸引部之间，将通过吸引所回收的所述泡沫分离为液体和气体。