| 发明名称 | 一种集成电路的筛选方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种集成电路(integrated circuits；IC)的筛选方法，该集成电路由晶圆上多个晶体管并联组成，该方法包含下列步骤：施加偏压到这些晶体管；及撷取这些晶体管的红外光影像。本发明所述筛选方法的优点在于检测速度快、自动化而且检测准确度高。 | ||
| 申请公布号 | CN102117755A | 申请公布日期 | 2011.07.06 |
| 申请号 | CN200910247688.2 | 申请日期 | 2009.12.30 |
| 申请人 | 上海允科自动化有限公司 | 发明人 | 柯恩清 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G01R31/311(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海三和万国知识产权代理事务所 31230 | 代理人 | 刘立平 |
| 主权项 | 一种集成电路的筛选方法，该集成电路由晶圆上多个晶体管并联组成，其特征在于，该方法包含下列步骤：施加偏压到这些晶体管；及撷取这些晶体管的红外光影像。 | ||
| 地址 | 200237 上海市闵行区虹梅南路1776弄71号 | ||