NITRIDE SEMICONDUCTOR MATERIAL AND METHOD FOR MANUFACTURING NITRIDE SEMICONDUCTOR CRYSTAL,申请号EP20060713322-传众专利搜索

发明名称	NITRIDE SEMICONDUCTOR MATERIAL AND METHOD FOR MANUFACTURING NITRIDE SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号	EP1852897(A4)	申请公布日期	2011.07.06
申请号	EP20060713322	申请日期	2006.02.08
申请人	MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION	发明人	KIYOMI, KAZUMASA;HORIE, HIDEYOSHI;ISHIWATARI, TOSHIO;FUJIMURA, ISAO
分类号	H01L21/205;C23C16/34;H01L33/00	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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