真空加热除气处理设备

摘要

本发明公开一种真空加热除气处理设备，包括机架、真空腔体、加热板、升降组件、水平输送组件、真空抽气系统及控制系统，所述真空腔体的两端分别设置有入口及出口，所述入口及出口处均设置有密封隔离阀，所述水平输送组件横贯设置于所述真空腔体内部，所述升降组件具有若干支撑柱及气缸马达，所述支撑柱呈密封地自由伸入所述真空腔体内，所述加热板安装于所述真空腔体内部，所述真空抽气系统与所述真空腔体连通，所述加热板、升降组件、水平输送组件及真空抽气系统均与所述控制系统电连接。本发明结构简单，操作方便，有效提高了显示器件的使用寿命，且在外界与真空封装生产线之间起到缓冲作用，工作时无需破坏生产线的真空状态。

主权项

一种真空加热除气处理设备，适用于对有机发光显示器的后盖在封装前进行加热除气，其特征在于：包括机架、真空腔体、加热板、升降组件、水平输送组件、真空抽气系统及控制系统，所述真空腔体固定于所述机架上，所述真空腔体的两端分别设置有入口及出口，所述入口及出口处均设置有密封隔离阀，所述密封隔离阀打开或关闭所述入口及出口，所述水平输送组件横贯设置于所述真空腔体内部且两端分别与所述入口及出口对接形成供后盖传输的后盖传输通道，所述升降组件安装于所述真空腔体外的下方，所述升降组件具有若干支撑柱及驱动所述支撑柱作直线往复运动的气缸马达，所述支撑柱呈密封地伸入所述真空腔体内并在气缸马达的作用下可自由地在所述真空腔体内作直线往复的升降运动，伸入所述真空腔体内的支撑柱的自由端形成支撑面，所述加热板安装于所述真空腔体内部并处于所述支撑柱的自由端形成的支撑面的正上方，所述真空抽气系统与所述真空腔体连通，所述加热板、升降组件、水平输送组件及真空抽气系统均与所述控制系统电连接。